德國(guó)賀德克HYDAC壓力傳感器*
德國(guó)HYDAC賀德克壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中較為常用的一種傳感器，而我們通常使用的德國(guó)HYDAC賀德克壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的，這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
我們知道，晶體是各向異性的，非晶體是各向同性的。某些晶體介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向受到機(jī)械力作用發(fā)生變形時(shí)，就產(chǎn)生了極化效應(yīng)；當(dāng)機(jī)械力撤掉之后，又會(huì)重新回到不帶電的狀態(tài)，也就是受到壓力的時(shí)候，某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng)，這就是所謂的極化效應(yīng)?？茖W(xué)家就是根據(jù)這個(gè)效應(yīng)研制出了德國(guó)HYDAC賀德克壓力傳感器。

壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英（二氧化硅）是一種天然晶體，壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的，在一定的溫度范圍之內(nèi)，壓電性質(zhì)一直存在，但溫度超過(guò)這個(gè)范圍之后，壓電性質(zhì)*消失（這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”）。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微?。ㄒ簿驼f(shuō)壓電系數(shù)比較低），所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù)，但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氫胺屬于人造晶體，能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度，所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。
HYDAC壓力傳感器1. 額定壓力范圍 額定壓力范圍是滿足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定值的壓力范圍。也就是在最高和低溫度之間，傳感器輸出符合規(guī)定工作特性的壓力范圍。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)傳感器所測(cè)壓力在該范圍之內(nèi)。 2. 最大壓力范圍 最大壓力范圍是指?jìng)鞲衅髂荛L(zhǎng)時(shí)間承受的最大壓力，且不引起輸出特性性改變。特別是半導(dǎo)體壓力傳感器，為提高線性和溫度特性，一般都大幅度減小額定壓力范圍。因此，即使在額定壓力以上連續(xù)使用也不會(huì)被損壞。一般最大壓力是額定壓力最高值的2－3倍。 3. 損壞壓力 損壞壓力是指能夠加工在傳感器上且不使傳感器元件或傳感器外殼損壞的最大壓力。 4. 線性度 線性度是指在工作壓力范圍內(nèi)，傳感器輸出與壓力之間直線關(guān)系的最大偏離。 5.壓力遲滯 為在室溫下及工作壓力范圍內(nèi)，從最小工作壓力和最大工作壓力趨近某一壓力時(shí)，傳感器輸出之差。
德國(guó)HYDAC賀德克壓力傳感器工作原理
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散德國(guó)HYDAC賀德克壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過(guò)外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
靜電容量型德國(guó)HYDAC賀德克壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動(dòng)極相對(duì)而形成電容，將通過(guò)外力（壓力）使可動(dòng)極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號(hào)。（E8Y的動(dòng)作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式）。
德國(guó)賀德克HYDAC壓力傳感器*
對(duì)賀德克hydac壓力傳感器而言，方法有在橋臂上串、并聯(lián)恰當(dāng)恒定電阻法，橋臂熱敏電阻補(bǔ)償法，橋外串、并聯(lián)熱敏電阻補(bǔ)償法，雙電橋補(bǔ)償技術(shù)、三極管補(bǔ)償技術(shù)等。以單晶硅賀德克hydac壓力傳感器的零點(diǎn)溫度漂移通過(guò)串并聯(lián)電阻的方法進(jìn)行補(bǔ)償為例。單晶硅壓力傳感器，是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)制成。賀德克hydac壓力傳感器壓阻系數(shù)是隨溫度變化而變化，因此壓阻效應(yīng)原理本身可引起傳感器輸出的溫度漂移；另外，半導(dǎo)體敏感元件的制作工藝也會(huì)帶來(lái)賀德克hydac壓力傳感器的整體溫度漂移，如橋路電阻的不等同性、橋臂電阻的漏電流、裝配應(yīng)力等，即使是在沒(méi)有輸入的情況下，即零點(diǎn)溫度漂移。
賀德克hydac壓力傳感器零點(diǎn)產(chǎn)生漂移的原因很多。如對(duì)壓力傳感器來(lái)說(shuō)，橋路中元件參數(shù)本身就不對(duì)稱；彈性元件和電阻應(yīng)變計(jì)的敏感柵材料溫度系數(shù)，線脹系數(shù)不同，組橋引線長(zhǎng)度不一致等綜合因素，最后導(dǎo)致賀德克hydac壓力傳感器組成電橋后相鄰臂總體溫度系數(shù)有一定差異，當(dāng)溫度變化時(shí)，相鄰臂電阻變化量不同，從而使電橋產(chǎn)生輸出不平衡，即產(chǎn)生了零點(diǎn)漂移；對(duì)智能傳感器，時(shí)漂——即對(duì)系統(tǒng)而言，隨著時(shí)間的增加，相當(dāng)于對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行老化處理，這樣，賀德克hydac壓力傳感器系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)特征就要發(fā)生變化，從而產(chǎn)生漂移。溫漂——受溫度影響而引起的零點(diǎn)不穩(wěn)定?？梢姡瑴囟鹊挠绊懯钱a(chǎn)生零點(diǎn)漂移的最主要因素，也是最難控制的。
賀德克hydac壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)實(shí)踐中，一切科學(xué)研究和生產(chǎn)過(guò)程要獲取信息都要通過(guò)其轉(zhuǎn)換為易傳輸與處理的電信號(hào)。但大多數(shù)傳感器的敏感元件采用金屬或半導(dǎo)體材料，其靜態(tài)特性與環(huán)境溫度有著密切聯(lián)系。實(shí)際工作中由于賀德克hydac壓力傳感器的工作環(huán)境溫度變化較大，又由于溫度變化引起傳感器的熱輸出較大，將會(huì)帶來(lái)較大的測(cè)量誤差；同時(shí)，溫度變化影響零點(diǎn)大小，繼而影響到賀德克hydac壓力傳感器的靜態(tài)特性，所以必須采取措施以減少或消除溫度變化帶來(lái)的影響，即必須進(jìn)行零點(diǎn)溫度補(bǔ)償。